金力泰合资公司超微弧氧化技术可用于光刻机设备零部件处理

5月26日,金力泰(300225)在投资者互动平台回复称国产光刻胶龙头企业杜尔考特是上海微电子装备(集团)股份有限公司的合格供应商,超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理与其他半导体芯片集成电路的表面处理上。公司的合资公司上海金杜新材料科技有限公司近日完成了工商注册手续,目前暂未产生营业收入。

据介绍,超微弧氧化技术是一种铝、镁和钛合金表面纳米陶瓷功能化膜制备技术,包括超耐蚀性、超耐磨性、抗力学冲击以及上述指标优化兼容综合防护膜的工业化加工技术,可应用于光刻机所使用的铝合金黑色光学工艺,亦可广泛应用于其他半导体芯片集成电路领域。

此前,美方加大对华为限制,限制晶圆厂采用美国设备为华为代工。虽然国内设备龙头在刻蚀机、PVD等领域已有长足进展,但部分产品如光刻机仍待突破,目前在12寸线上还难以形成全套供应体系,已经成为自主可控待突破的最重要一环。

产业链人士认为,本次美方禁令会进一步倒逼晶圆厂加大对国产设备材料供应链的扶持力度,加速设备材料龙头的国产替代进程。金力泰(300225)与国产光刻胶龙头企业杜尔考特合资企业的上海金杜新材料科技有限公司核心技术为超微弧氧化技术,公司表示未来会深入研究超微弧氧化技术,并积极探索该技术未来的应用领域,加快光刻机领域国产替代步伐。