凯美特气：打破芯片制造用气“卡脖子”现状，多种电子特气已实现量产

新华财经长沙6月2日电（记者余蕊 陈宇箫 吕光一）电子特种气体被比喻为半导体的“血液”，是制造芯片的关键基础材料。电子特气对纯度的要求非常高，包括氪气、氙气、氩气、氦气、一氧化碳、二氧化碳等上百种稀有气体。中国电子特气八成以上依赖进口，用于制造芯片的高端电子特气更是几乎全部依赖进口，成为“卡脖子”关键领域。近年来，湖南凯美特气体股份有限公司（以下简称“凯美特气”）在电子特气领域取得突破性进展，记者近日采访了其董事长祝恩福。

电子特气成为“卡脖子”关键领域

据了解，半导体制造过程中的刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积、扩散等环节要使用大量的电子气体，并且电子气体的纯度对芯片质量影响很大。随着集成电路工艺节点不断缩小，已经达到10纳米、7纳米，芯片制造对所用气体的颗粒度和杂质含量的要求也越来越高。

除了制造芯片，电子特气还可以应用到柔性屏生产、肺部显影、卫星离子发射等多个领域。

中泰证券等多家机构研究认为，电子特气行业具有较高的进入壁垒，美国空气化工、德国林德集团、法国液化空气和大阳日酸等四大公司控制着全球90%以上的市场份额。国内市场更是如此，八成以上的电子特气依赖进口，高端的电子特气几乎全部依赖进口，如离子注入气、光刻激光气等。

凯美特气突破电子特气关键技术 已能实现量产

凯美特气是一家以石油石化企业排放的尾气（废气）、火炬气为原料，将其中有价值的成分进行分离、提纯、回收循环利用的上市公司，是可口可乐、百事可乐中国区最大的高纯二氧化碳供应商。

2018年，凯美特气投资2亿多元，建设电子特种气体项目并将研发成果产业化，与香港一家公司合资成立岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司（以下简称“凯美特电子特气”），凯美特气控股97%。

“目前芯片制造所用的电子特气100%依靠进口，‘卡脖子’的问题必须要解决，我们在气体行业深耕了20多年，想为国家做点事情。”凯美特气董事长祝恩福说，“我们将二氧化碳产业链进行延伸，突破电子特气国产化的技术瓶颈，成功研发出电子特气提纯技术等多项核心技术，生产出电子级气体产品。”

祝恩福介绍，凯美特电子特气目前已成功本地化生产出电子级的99.999%高纯氙气、99.9995%超高纯航空氙气、99.9999%超高纯氩气、99.999%高纯氪气、99.9999%高纯氦气、99.9999%高纯氮、99.9999%高纯氢、99.999%高纯一氧化碳、99.99996%电子级二氧化碳，以及准分子激光含氟混合气，HCl混合气体等等。

“这些特种气体都能够实现量产。我们在2021年年初落实了9万空分的稀有气体项目，预计2022年年底可以具备每年200标方氙气、2000标方氪气、6万标方氖气，以及1.5万标方氦气的生产能力。”祝恩福说，现阶段凯美特电子特种稀有气体的生产能力已经可以实现近1个亿的产值。

凯美特气实现电子特气生产全流程自主可控 已获得液化空气认证

祝恩福介绍，电子特气对于生产环境和包装等的要求很高。“例如充装电子特气的气瓶，要求特别干净。国内的气瓶生产商达不到我们的指标要求。我们不得不花1000万元从国外进口清洗气瓶的生产线，确保了电子特气的高纯度。”祝恩福说。

如今的凯美特电子特气已经实现了氟气、氯化氢等稀有原料气自主可控，包装气瓶处理自主可控，提纯充装的生产过程自主可控，并且拥有电子特气分析检验、气瓶检测的能力。全流程的自主可控，为稳定生产提供了保障。

电子特气属于危险化学品工业气体，生产过程有着严格的管理规范。2020年底，凯美特电子特气拿到了全套生产资质，包括安全生产许可证、全国工业产品生产许可证、气瓶充装许可证、移动式压力容器充装许可证、质量管理体系认证证书、环境管理体系认证证书、职业健康安全管理体系认证证书等。

尽管获得了上述生产资质，凯美特电子特气具备了生产的前提并拥有量产的能力，但打破国外对电子特气的长期垄断，实现电子特气“中国造”，需要市场的接纳和认可。而走向市场的重要一步，是获得半导体行业巨头的认证。

凯美特气今年2月3日发布公告，称凯美特电子特气已收到液化空气（上海）供应商审核结论通告，生产的高纯度氪、氙、二氧化碳得到液化空气的认证。

法国液化空气集团，是世界上最大的工业气体和医疗气体以及相关服务的供应商之一。随后，凯美特电子特气生产的电子特气开始正式销售，如今99.999%高纯度氪气已签署三单合同，销售额近1000万元。

凯美特气瞄准的，是全球最大的光刻机制造商，荷兰阿斯麦的认证。“在获得阿斯麦认证之前，必须先获得德国相干公司的认证，相干公司是全球领先的激光技术供应商。现在情况还是比较顺利的，样气已经到香港，还有几天可以到德国开始认证。我对我们的产品质量很有信心。”祝恩福说，“我相信未来，在电子特气行业我们会做得很好。”