励兆科技完成数千万Pre-A轮融资

近日，半导体设备关键零部件射频和等离子系统供应商上海励兆科技宣布完成数千万元人民币Pre-A轮融资，并邀请到前爱思强中国区总经理宋伟加入创业团队担任副总裁。Monolith砺思资本、中芯聚源、临港科创投参与本轮投资。

励兆科技成立于2022年8月，位于上海市闵行区，是一家专注于半导体工艺设备领域的射频和等离子系统供应商。

励兆科技的创始团队来自海内外知名高校和研究机构，拥有多年先进半导体设备开发经验，超过十年的射频电源系统研发和制造经验，在基础研究，产品开发，工艺应用和市场拓展等多个方面有着深厚的积累。公司首席科学家是上海交大副教授/博导，曾在美国顶级学府从事高频电力电子的研究。

公司副总裁宋伟是前爱思强中国区总经理，毕业于北航。在加入励兆科技之前，曾先后在美国维利安(Varian)、美国应用材料(AMAT)、美国万机(MKS)、美国柯狄(Kateeva)和德国爱思强(AIXTRON)等多家欧美知名公司担任中国区总经理或销售总监等高管职位。

励兆科技创始人赵馗表示，励兆科技团队在射频、电力电子、控制和算法技术上都具有较深积累和完备的布局。高频电力电子是射频技术的一种，其人才在全球都非常稀缺，半导体射频电源要求兆赫兹级别的电力电子技术。公司核心成员从2012年便开始深耕这个领域的研究，是国际上为数不多的华人专家之一。

同时，产品的算法需要和半导体工艺相结合，需要熟悉等离子体加工工艺，且要有扎实的数理背景，励兆科技能很好地结合客户的实际工艺需求来研究和优化算法。

史密斯圆图是反射系数的极座标图，它是一种求解传输线问题的辅助工具，于1939 年由 P.Smith 在贝尔实验室工作时开发，正确的使用它，可以在不作任何计算的前提下得到一个表面上看非常复杂的系统的匹配阻抗，

同时在远程等离子源(RPS)领域，公司正在开发一款可用于12寸晶圆去胶/氧化/清洁等工艺领域的产品，预计在年底可为关键客户送样测试。

励兆团队表示，在目前复杂国际形势下，从根本上解决国产半导体设备的整体供应链安全问题刻不容缓。励兆科技的愿景是依托自身扎实的产业技术背景，创造一家世界级的中国射频等离子解决方案企业。

Monolith砺思资本表示，射频电源是产生等离子体的核心器件，高性能的大功率射频电源是国产化先进制程的必要设备。目前，射频电源几乎完全依赖进口，亟需国产化。励兆科技是国内少有的国际领先的研发团队，同时又有深厚的上下游产业积累，对于攻克其中的技术问题，顺利商业化大有帮助。砺思看好射频电源方向的国产化前景，相信励兆能成为未来行业标杆。