上海电气:母公司为国产光刻机龙头上海微电子第一大股东

近日,被誉为“光刻机第一股”的华卓精科的科创板IPO申请获上交所受理,光刻机自主可控再次获得资本市场关注。据了解,目前国内光刻机处于技术领先的是上海微电子,其最先进的ArF光源光刻机节点为90nm,中国企业技术整体较为落后,在先进制程方面与国外厂商仍有较大差距。

工商信息显示,上海微电子的第一大股东上海电气(集团)总公司,上海电气(集团)总公司持股约32%。上海电气(集团)总公司为上市公司上海电气(601727)的母公司,上海电气(601727)是中国最大的综合性装备制造企业集团之一。

据业内人士介绍,光刻机设备市场龙头集中,EUV光刻机被ASML垄断。全球光刻机出货量99%集中在ASML,尼康和佳能。其中ASML份额最高,达到67.3%。上海微电子是大陆光刻设备龙头企业,在中国大陆市场份额已经超过80%。在国家重大科技专项的支持下,上海微电子的IC前道光刻机有望在未来几年实现45 nm、28 nm制程,逐步缩小与国际先进水平的差距。

上海微电子官网显示,公司是在国家科技部和上海市政府共同推动下,由国内多家企业集团和投资公司共同投资组建的高科技企业。公司在光刻设备领域拥有全国最先进的技术,高端前道光刻机实现90nm制程,光刻机可以应用于集成电路产业链中晶圆制造、封装测试,以及平板显示、高亮度LED等领域。根据芯思想数据,上海微电子2018年出货大概在50-60台之间。