徐州博康获数千万元投资

近日，清枫资本正式完成对国内高端半导体光刻胶领先厂商徐州博康的数千万元投资交割。

徐州博康成立于2010年3月25日，基于对单体制备工艺的娴熟掌握，博康对光刻胶制备各个环节逐一攻克，承担起国家“02专项”中的“ArF光刻胶单体产品的开发与产业化”的子课题，并得到成功验收。如今公司已实现了“单体——树脂、光酸——光刻胶”的全国产化、全产业链布局，打破了日美企业在高端半导体光刻胶领域的寡头垄断格局，在保障国产光刻胶材料产业链安全、自主、可控方面取得实质性突破。

目前，徐州博康拥有ArF/KrF光刻胶单体、ArF/KrF光刻胶、G线/I线光刻胶、电子束光刻胶等产品，覆盖集成电路制造、后段封装、化合物半导体、分立器件、电子束等市场应用，客户覆盖日本、韩国及国内主要集成电路领先制造企业。

公司已研发储备全球80%的光刻胶单体产品技术，其中KrF光刻胶单体占全球份额超过20%。是国内少有能打通光刻胶上游材料的全产业链公司。

在半导体光刻胶领域，公司已研发高端ArF光刻胶26款，其中应用于通孔工艺的ArF湿法光刻胶，已经能够应用至40nm/28nm工艺节点，是国内第一款国产化的ArF湿法通孔光刻胶；公司已研发高端KrF光刻胶30款，其中主要针对lift-off工艺的金属剥离负胶，底部倒角可控，是目前国内唯一可提供此类KrF的产品。此外，公司已研发I 线光刻胶 15 款，以及3大种类的电子束光刻胶，现已为数十家企业和高校提供标准化、定制化的电子束光刻胶产品。

徐州博康去年实现历史性的突破，已有多款半导体光 刻 胶 相 继 获 得 了 国 内 12 寸 晶 圆 厂 的 订 单 ， 包 括 ARF-immersion、ARF- dry、KRF、I- line 等，可应用于 14-90nm制程节点。公司2023 年的重心是实现不同料号产品在主流晶圆厂的全面放量。

清枫资本非常看好徐州博康在光刻胶领域的成就和发展，非常认可管理团队的理念和企业的战略规划，相信徐州博康凭借在光刻胶全产业链的自主可控优势，将引领高端光刻胶国产化浪潮，并为我国半导体产业链实质性的自主可控贡献力量。

在全球性大国多层次科技竞争逐步向产业上游基础性领域深化的背景下，清枫资本持续看好核心关键材料的国产化自主可控进程，关注新能源、半导体、军工领域的材料科学应用。