2023-10-18 16:07:37 来源:中科创星 作者: 摘要:近日,国内领先的半导体自动物料搬运系统(AMHS)整体解决方案供应商「成川科技」完成数千万元A轮融资,中科创星、中新资本、中博聚力投资。
在半导体行业中,半导体AMHS系统主要负责物料在生产线的自动搬运,是由软件和硬件组成的一个复杂系统,软件包括物料控制系统(MCS)和设备层控制系统,硬件包括天车(OHT)、移动机器人(AMR)、传送线(Conveyor)等搬运设备和洁净立库(Clean Stocker)、空中缓存位(OHB)、工作站(Station)等存储设备以及楼层间的传送存储设备(Tower Stocker)等。其中,天车系统是AMHS的核心,具有搬运量大、搬运效率高和生产线空间适配利用率高等优势。
随着半导体工艺的复杂度的提升,物料的搬运量也在不断提升,天车系统和设备作为整厂AMHS解决方案,已经成为12寸晶圆厂的标配。但因技术难度高,过去多年来,市场一直被日本大福和村田公司垄断。
「成川科技」成立于2020年,专注于提供AMHS整体解决方案,其产品和服务涵盖生产线AMHS整体规划设计、自动物料搬运和存储设备的设计制造以及现场的安装调试、软件控制系统的开发等,帮助客户提升设备效率和产品良率,降低生产成本,提高制造竞争力。
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