华懋科技子公司徐州博康争做光刻胶“大厨”

获华懋科技投资数日后，徐州博康信息化学品有限公司（下称徐州博康）再获重磅投资。上海证券报记者日前查询工商登记信息发现，徐州博康股东名单新增一家投资机构。这意味着，此前华懋科技公告提及的“合格的下轮投资者”已正式“入列”。据测算，该机构投资金额为3亿元。

资料显示，徐州博康在光刻胶领域深耕十余年，成功研发了覆盖g/i线、248nmKrF、193nmArf及电子束光刻胶等产品，并为国内主流厂商批量供货。“厚积而薄发，在半导体产业发展浪潮中，我们的先发优势将进一步转化为核心竞争力，向着中国光刻胶第一品牌迈进。”近日，徐州博康董事长傅志伟接受记者采访时表示。

专注研发：深耕十数载结硕果

中科院微电子所研究员、博导韦亚一介绍，徐州博康是国内最早从事光刻胶单体研发和量产的公司，长期为主流光刻胶公司供应单体。在丰富的单体技术积累基础上，徐州博康接连开展了树脂和光刻胶的研发，取得了多项突破。KrF胶已通过技术验证，被国内主流厂商批量采购用于量产；ArF胶的关键技术指标与国际水平非常接近，正在进行市场推广。

“我们在这个领域摸爬滚打十几年，算是有了点成绩。”傅志伟谦虚地说，“公司一开始是做光刻胶单体，即光刻胶的原料。那时国内几乎没有企业做，我们很快就在原材料领域做到全球前列，几大国际光刻胶巨头都由我们供货。”

不过，某次与一家日本光刻胶企业沟通后，一件事情让傅志伟心中起了波澜。“我们作为二级供应商，与日本光刻胶企业一起到国际顶级晶圆厂提供整体解决方案。但主要是日本光刻胶企业与晶圆厂讨论，他们不懂的时候就让我们到会议室，我们说完了就立刻把我们‘请’出去，来来回回好多次，甚至我们一踏入会议室，他们就要把U盘拔掉。”

“那时心里很不舒服，既然如此防着我们，我们就靠自己把产品做出来，并且比他们的还要好。”傅志伟和团队下定决心，再苦再难也要做出自己的光刻胶。

从那时起，徐州博康就把做光刻胶单体赚的钱投入光刻胶研发领域，一投就是十几年。“当时知道很难，没想到那么难。举个例子，两种液体放在一起，我需要控制它们在什么状态下相融，什么状态下不融。”傅志伟笑言，越难做说明门槛越高，这也是公司目前在国内处于领先地位的原因，“做了十几年，磨也磨出来了”。

华懋科技董事长袁晋清也表示，颇为欣赏傅志伟的情怀与专注，多年来专注做一件事，最终突破光刻胶领域的技术壁垒，并实现规模化生产。

目前，徐州博康在光刻胶领域形成了80余人的研发团队，搭建了3000平方米国际标准研发中心。“光靠我肯定不行，我们团队实力很强，一起钻研才能有成果。”傅志伟说。

光刻胶单体方面，公司是光刻胶单体国家标准制定单位，还率先开发了EUV光刻胶单体；光刻胶方面，公司成功研发了覆盖g/i线，248nmKrF，193nmArf及电子束光刻胶等数十种产品，部分产品具备批量生产能力，多个产品目前已通过大客户认证。

有电子行业分析师表示，徐州博康早已是滤波器制造企业的核心光刻胶供应商，在先进制程的材料解决方案领域，徐州博康也在积极与国内几大制造企业进行产品导入，多款ArF、KrF光刻胶产品受到客户认可。徐州博康的光刻胶产品应用前景广阔，除了受益于国内下游客户积极扩产，公司还具备完整的光刻胶知识体系，能与芯片制造企业持续开展高阶制程的研发工作。

未来可期：驶入大规模应用蓝海

在高端半导体光刻胶领域，国内企业的市场份额仍然较小，仅有徐州博康等进入国内下游企业小规模试样阶段。

在傅志伟看来，国内半导体产业发展给了行业巨大发展空间，半导体光刻胶作为重要材料，也将迎来发展良机。

“我们已迈出关键一步，随着光刻胶在晶圆厂大规模使用，我们将持续迭代升级产品，与半导体产业链相关公司一起成长。”傅志伟表示，正是因为从光刻胶单体起家，公司把原材料吃得很透，熟悉每一种产品的特性，所有的原材料都在仓库里，树脂、单体、中间体、感光剂、添加剂都不缺，研发准确度及研发节奏较好。

由于自身特性，光刻胶从研发成功到小规模生产再到大规模量产，对工艺的要求难度呈几何式增长，绝大部分公司研发成功后由于工艺限制无法量产。

据了解，徐州博康新工厂投产后，将实现年产光刻材料1100吨及电子级溶剂10000吨，这也是国内较早实现半导体光刻胶从实验室研发到规模量产转化的工厂，将进一步巩固徐州博康的领先地位。

有投资经理表示，现阶段企业仅掌握单体却不会做光刻胶是远远不够的，优秀企业应掌握从原材料到成品胶的技术。以徐州博康为代表的创新企业，其潜心研发、快速发展既符合我国集成电路行业的需要，也是产业链垂直整合的结果。

值得一提的是，傅志伟旗下另一家公司影速集成近年来也发展迅速，并有意登陆资本市场。公开资料显示，影速集成是一家专注于光刻设备领域研发、生产和销售的企业。该公司目前掌握了直写式光刻领域技术，已实现半导体激光直写光刻机、高端PCB用LDI设备等领域的产业化。

光刻胶产品测试少不了匹配的光刻设备，拥有独立自主的相关光刻设备是持续推进徐州博康半导体光刻胶系列产品研发、测试和推广的重要条件，影速集成的创新发展将对徐州博康做大做强形成有利支撑。